Vandkølet DC -strømforsyning med kompakt struktur kan opnå den bedste belægningskvalitet, så det kan erstatte pulseffektforsyningen i Magnetron -sputteringsprocessen.
Funktioner:
• Systemet forkorter reaktionstiden i høj grad, og den resterende lysbue -energi reduceres til en minimumshastighed
• Selv i den høje bue -hastighed på processen kan den sikre, at filmen er tynd og homogen.
• Ekstremt lav bue -resterende energi, hurtig bedring
• Avancerede DC Sputtering -applikationer
• At opnå høj effekt i en kompakt struktur
• Vandkølet strømforsyning
Kundefordel:
• Forbedre produktionseffektiviteten markant
• High Performance Film Quality
• Endnu større end 40 kW strømforsyning og systemintegration også meget praktisk
• Høj systemstabilitet og lavvedligeholdelsesomkostninger