DK Arc ionbelægning

Bue ionbelægning

PVD-- Fysisk dampaflejring
En form for fysisk dampaflejring (PVD -belægning) er bue -ionbelægning. Historien om PVD -belægning begyndte at bruge ARC -teknologi, der har sin oprindelse i lysbuesvejsning.

Mål

Det metal, der skal fordampes, placeres som solid blok (mål) mod indersiden af ​​et vakuumkammer. En glødudladning antændes og løber på målet og efterlader et fodaftryk. Små pletter med et par μm diameter målmateriale fordampes. Buens bevægelse kan styres af magneter.

Plasma -belægning

Det fordampede ioniserede materiale anvendes som plasma -belægning på et produkt, der roterer inde i vakuumkammeret. Buebelægninger bruges som værktøjsbelægning og komponentbelægning.

Eksempler på belægninger

Eksempler på buebelægning er tin, aitin, aicrn, tisin, ticn, crcn og crn belægning

Skematisk oversigt over en PVD -lysbue -proces.

Karakteriseret af buebuebelægningsteknologi:

Høje afsætningshastigheder (1 ~ 3 um/t) høj ionisering, hvilket resulterer i god vedhæftning og tætte belægninger, da målet afkøles, der genereres lidt varme til substratet, endda belægning ved temperaturer under 100 ℃ er mulig, at flere sammensætninger af metaller kan fordampes, hvilket efterlader det resterende faste mål, der er uændret i dens sammensætning. Katoderne kan placeres i enhver position (vandrette, lodrette, på hovedet), hvilket gør fleksibelt maskindesign muligt.

De vigtigste ulemper ved ARC -belægningsteknologi:

Begrænset form for målmaterialer - Kun metaller (ingen oxider) - som ikke har en for lav fordampningstemperatur på grund af de høje strømtætheder, som en vis mængde af målmaterialet skubbes ud som små flydende dråber.