Hvad er co-sputtering og co-fordampning?

Sputtering og termisk fordampning er to af den almindelige fysiske dampaflejring PVD Kina PVD -belægningssystemer producenter Tynd filmbelægningsproces teknikker. Disse metoder udføres i et miljø med højt vakuum, og er kernen i halvlederen, optik, fotonik, medicinsk implantat, højtydende auto- og aero -industrier.

"CO" betyder gensidig, almindelig - mere end én. Medsputtering og co-fordampning betyder mere end et belægningsmateriale, der påføres et underlag, der giver mulighed for oprettelse af en lang række nye og bemærkelsesværdige sammensætninger og legeringer med unikke og fantastiske kvaliteter, der ikke er muligt uden denne hurtigt ekspanderende tynde filmteknologi.
Medsputtering er hvor to eller flere mål (eller "kilde") materialer er sputteret, enten på én gang eller i rækkefølge i vakuumkammeret, og bruges ofte med reaktive magnetron-sputtering til at producere tynde film, der er kombinatoriske såsom metallegeringer eller ikke-metalliske sammensætninger såsom keramik.

Det er vidt brugt i de optiske og arkitektoniske glasindustrier. Ved at anvende reaktiv co-puttering af to målmaterialer såsom silicium og titanium med dobbelt magnetron-sputtering, kan brydningsindekset eller skyggeeffekten af ​​glasset omhyggeligt og præcist kontrolleres på anvendelser, der spænder fra store overflader, som arkitektonisk glas, til solglas. Det er også vidt anvendte produktion af solcellepaneler og skærme. Ansøgningerne til co-sputtering vokser fortsat hver dag.

Medsputtering bruger mere end en katode (typisk to eller tre) i proceskammeret, hvor strømmen til hver katode kan kontrolleres uafhængigt. Det kan betyde, at begge har flere katoder af det samme målmateriale, der fungerer på samme tid for at øge afsætningsgraden, eller det kan også betyde at kombinere forskellige typer målmaterialer i proceskammeret for at skabe unikke kompositioner og egenskaber i tynde film.

Siliciummål, der er sputteret i et plasma, der indeholder ilt, når den reaktive gas danner SiO2, som har et brydningsindeks på 1,5. Titanium sputterede ind i plasmaet med iltformer TiO2 med et reflekterende indeks på 2,4. Ved at co-putering af disse to målbelægningsmaterialer og variere kraften til hver af disse dobbelte magnetoner, kan det nøjagtige brydningsindeks for belægningen tilpasses og deponeres på glasset til ethvert ønsket brydningsindeks mellem 1,5 og 2,5.

På denne måde har reaktiv co -sputtering muliggjort oprettelse af tynde filmbelægninger på glas og andre materialer med tilpassede eller klassificerede brydningsindekser - inklusive jævnbelægninger, der ændrer de reflekterende egenskaber ved det arkitektoniske glas, når solen bliver stærkere eller svagere.
Meddampning er en termisk fordampningsproces, der kan have fordele eller ulemper sammenlignet med co-sputtering, afhængigt af den specifikke anvendelse, det bedst forstås ved at definere de grundlæggende forskelle mellem fordampning og sputtering af PVD-belægningsprocesser.

Med co-fordampning opvarmes belægningsmaterialerne i et højt vakuumkammer, indtil de begynder at fordampe eller sublimat. Dette opnås af kildematerialet, der opvarmes og fordampes enten ud af en resistiv filamentbåd/trådkurv eller fra en digelbjælke ved hjælp af en elektronstråle. For at opnå en høj grad af ensartethed med termisk fordampede tynde film manipuleres underlaget, der skal coates, ved at rotere det på enten en eller to akse i deponeringskammeret.

Almindelige anvendelser af co-fordampning af tynde film er med metaliserede belægninger på plast, glas eller andet substratmateriale, der giver en høj grad af opacitet og refleksionsevne, teleskopspejle og solcellepaneler.

Solpaneler baseret på Cu (IN, GA) SE2 (CIG'er) har opnået den højeste rekordeffektivitet blandt tynde filmsolceller med en rekordeffektivitet på over 20%. Nøglen til denne succes er 3-trins co-fordampningsprocessen, der resulterer i en dybdegående dobbelt GA-gradient med en forøget GA-koncentration fra både front- og bagfladerne i den tynde filmaflejring. Dette er den type støkiometriske effektivitets co-fordampningsprocesser leverer i den virkelige verden, hvilket gør en grønnere, renere, mere energieffektiv verden, der hurtigt udvides til fremtiden.