Hvad er trinene til at bruge vakuumbelægningsmaskinen?
Vakuumbelægningsmaskine Hensætter hovedsageligt til en type belægning, der skal udføres under et højere vakuum, inklusive mange typer, herunder vakuumresistensopvarmningsfordampning, fordampning af elektronpistol, magnetron sputtering, mbe molekylær bjælkepitaxy, pld laser sputtering deponering, ion der er mange slags bælesputtering. Hovedideen er opdelt i to slags fordampning og sputtering.
Electric Control Cabinet -drift 1. Tænd for vandpumpen og luftkilden. 2. tænd for hovedforsyningen. 3. tænd for strømforsyningen af vedligeholdelsespumpen og vakuummåleren, vakuummålerposition V1, vent på, at værdien er mindre end 10, og indtast derefter det næste trin. Det tager cirka 5 minutter. 4. Tænd for den mekaniske pumpe, præ-pump, tænd for den turbo molekylære pumpe, og start den. Vakuummålerafbryderen ændres til V2 -positionen. Det tager cirka 20 minutter at pumpe ned til mindre end 2. 5. Efter at have observeret, at læsningen af den turbomolekylære pumpe når 250, skal du slukke for før-pumpen, tænd for bagpumpen og den høje vakuumventil for at fortsætte støvsugningen. Når vakuumet når et bestemt niveau, skal du tænde for den høje vakuummåler til højre til at observere vakuumet. Først efter vakuumet når 2 × 10-3 kan elektronpistolforsyningen tændes.
DEF-6B-drift 1. Total strømforsyning. 2. Tænd for elektronpistolskontrol ⅰ og elektronpistolkontrol ⅱ Strømforsyning på samme tid: Tryk på elektronpistolskontrol ⅰ Strømforsyning, forsinkelsesafbryder, forsinkelsen, strømforsyningen og beskyttelseslysene er tændt. Efter tre minutter er forsinkelsen og beskyttelseslamperne slukket. Hvis bagdøren ikke er lukket, eller vandstrømningsrelæet har fiasko, vil beskyttelseslyset altid være på. 3. Når højspændingen er tændt, når højspændingen mere end 10 kV, strålestrømmen kan justeres til ca. 200 mA, gardinnettet er 20V/100MA, filamentstrømmen er 1,2A, og afbøjningsstrømmen svinger mellem 1 og 1,7.
Lukningssekvens 1. Sluk for den høje vakuummåler og molekylær pumpe. 2. Når molekylærpumpedisplayet når 50, skal du slukke for den høje ventil, den forreste scene og den mekaniske pumpe på sin side. Denne periode tager cirka 40 minutter. 3. Når det er under 50, skal du slukke for vedligeholdelsespumpen igen.
Dele:
Produktkonsultation
Din e -mail -adresse offentliggøres ikke. Krævede felter er markeret *