Hvad er hovedkomponenterne i et vakuumbelægningssystem?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Hvad er hovedkomponenterne i et vakuumbelægningssystem?

1. Vakuumkammer

Belægningsudstyr Hovedsageligt har to former: kontinuerlig coating produktionslinje og enkeltkammerbelægningsmaskine, fremstilling af rustfrit stålmateriale, argonbuesvejsning, overfladekemisk poleringsbehandling og forskellige specifikationer for flangegrænseflader svejses på vakuumkammerkomponenterne.

2, vakuum erhvervelsesdel

I vakuumteknologi er vakuumindsamlingsdelen en vigtig del. Erhvervelsen af vakuum kan ikke opnås med et enkelt vakuumudstyr og -metode. Flere pumper skal bruges i kombination, såsom mekaniske pumper, rødderpumper, molekylære pumpesystemer osv.

3, vakuummålingsdel

Vakuummålingsdelen af vakuumsystemet er at måle trykket i vakuumkammeret. Som en vakuumpumpe kan ingen vakuummåler måle hele vakuumområdet, så folk har lavet mange typer vakuummålere i henhold til forskellige principper og krav. Såsom termoelementmåler, ioniseringsmåler, pirani -meter osv.

4. strømforsyningsdel

Målforsyningen inkluderer hovedsageligt DC -strømforsyning, mellemfrekvens strømforsyning, pulsstyrkeforsyning og radiofrekvensforsyning (RF). Fælles strømforsyningsproducenter inkluderer AE, ADL, Hottinger osv.

5. Process Gas Input System

Procesgasser, såsom Argon (AR), Krypton (KR), nitrogen (N2), acetylen (C2H2), methan (CH4), hydrogen (H2), ilt (O2) osv., Leveres generelt af gascylindre. Gastrykreducerende ventil, gasstopventil, rørledning, gasstrømmåler, magnetventil, piezoelektrisk ventil og derefter ind i vakuumkammeret. Fordelen ved dette gasindgangssystem er, at rørledningen er enkel og klar, og det er let at reparere eller udskifte gascylinderen. Belægningsmaskinerne påvirker ikke hinanden. Der er også tilfælde, hvor flere belægningsmaskiner deler et sæt gascylindre. Denne situation kan ses i nogle store coating-workshops. Dets fordel er, at det reducerer belægningen af gascylindre, samlet planlægning og samlet layout. Ulempen er, at på grund af stigningen i antallet af samlinger øges chancen for luftlækage. Desuden vil belægningsmaskinerne forstyrre hinanden, og rørledningen på en belægningsmaskine kan lække luft, hvilket kan påvirke produktkvaliteten på andre belægningsmaskiner. Når man udskifter gascylindre, er det desuden nødvendigt at sikre, at alle maskiner er i en ikke-gasstat.

6. Mekanisk transmissionsdel

Belægningen kræver, at tykkelsen af periferien skal være ensartet. Derfor skal der være tre rotationer i belægningsprocessen for at imødekomme kravene. Det vil sige, mens det store arbejdsemnebord er påkrævet for at rotere (i), roterer det lille arbejdsemnebærer også (ii), og selve emnet kan rotere på samme tid (iii). I mekanisk design er der generelt et stort køreudstyr i midten af bunden af det store arbejdsemne, og nogle små stjernehjul stikker sammen med det. Hvis produktet skal roteres, roteres emnet generelt af en skiftgaffel.

7, Opvarmning og temperaturmålingsdel

Belægningsudstyr har generelt varmeapparater i forskellige positioner, og termoelementer bruges til at måle og kontrollere temperaturen. Fordi termoelementets klemmeposition er forskellig fra emnetpositionen, kan temperaturaflæsningen ikke være den sande temperatur på emnet. For at måle den sande temperatur på emnet er der mange metoder, du kan installere testpapir eller termoelement på emnetaletemperaturen på emnet.

8. Ionfordampning og sputteringskilde

Fordampningskilden til multi-lysbue plettering er generelt i form af en rund kage, almindeligvis kendt som et rundkage-mål, og der er også rektangulære multi-bue-mål. En magnet er installeret i målbasen. Ved at bevæge magneten frem og tilbage ændres magnetfeltets intensitet, og den bevægelige hastighed og bane på lysbue kan justeres. For at reducere målets temperatur og målbasen skal målbasen kontinuerligt forsynes med kølevand. For at sikre høj elektrisk og termisk ledningsevne mellem målet og målbasen kan der også tilføjes en tinpakning mellem målet og målbasen. Magnetron -sputteringbelægning bruger generelt rektangulær eller cylindrisk sputteringkatoder.

9, vandkølingssystem

Består generelt af koldt vandtårn, isvandsmaskine, vandpumpe osv.

10, Industrial Control System

Dele: