Hvad er arbejdsprincippet for katodisk bue ionbelægning?

Først og fremmest er den bue, der er slående nål (anode) med positivt potentiale tæt på målet (katode) med negativt potentiale. Når afstanden mellem anoden og katoden er lille nok, vil gassen mellem de to elektroder blive nedbrudt, hvilket danner en bue strøm, der ligner lysbuen, der rammer elektrisk svejsning. På dette tidspunkt ioniseres en del af N2 til dannelse af nitrogenkationer og elektroner.

Tiltrukket af den elektriske feltkraft vil nitrogenkationen flyve til katoden nær målet, og elektronet vil flyve til bue -tændingsnålen. Imidlertid er ionmassen langt større end elektronet. Derfor, under den samme elektriske feltkraft, vil bevægelsesafstanden for elektronet være større end kationens. Når elektronet når anoden, når ionet derfor ikke katodemålet, men vil flyve til lysbuegangnålen, den positive ionakkumuleringslaget dannes nær måloverfladen.

Afstanden mellem kationen og katodemåloverfladen er meget lille, op til mikronniveau. I henhold til e = u / d kan det ses, at det elektriske felt i rummet er højt på dette tidspunkt, hvilket vil "trække" elektronerne ud af målet. De "trukkede" elektroner flyver fra katodemålet til det positive ionakkumuleringslag og danner en strøm. Stablingslaget er forbundet med måloverfladen, og en bue genereres nær måloverfladen.

På samme tid tiltrækkes de positive ioner af katodemåloverfladen, hvilket får de positive ioner til at bombardere måloverfladen og producere sputtering. Da filmpartiklerne enten fordampede eller sputteret har brug for at passere gennem det positive ionakkumuleringslag, og i processen med at flyve ud af katodemåloverfladen vil filmenpartiklerne blive påvirket af buen ved måloverfladen, så af partiklerne, der ankommer til arbejdsemnet, er ionisk tilstand.

Den negative bias -spænding påføres normalt på emnet, så de positive ioner flyver til emnet under handlingen af ​​elektrisk feltstyrke og bombarderer emnet DLC -belægningsmaskineproducenter . Denne bombardement vil forbedre vedhæftningen af ​​filmen og gøre friktionen tæt, hvilket er meget fordelagtigt for at forbedre filmens kvalitet.

Hvis du vil vide mere, kan du også kontakte os.

Ningbo Danko Vacuum Technology co., Ltd.

Sara

Telefon: 86-15867869979

E -mail: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979