Fordampning vakuumbelægningsmaskine og fysisk princip- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Fordampning vakuumbelægningsmaskine og fysisk princip

Fordampningen Vakuumbelægningsmaskine er hovedsageligt sammensat af et vakuumbelægningskammer og et vakuumpumpesystem. Der er fordampningskilder (dvs. fordampningsvarmere), substrater og substratholdere, elektrodestænger, strømforsyninger, crucibles, substratvarmere, udstødningssystemer osv. I vakuumkammeret.

Belægningsmaterialet anbringes i fordampningskilden i vakuumkammeret. Under høje vakuumbetingelser opvarmes fordampningskilden for at fordampe den. Når den gennemsnitlige frie sti for dampmolekylerne er større end den lineære størrelse af vakuumkammeret, vil atomerne og molekylerne af filmdampen fordampes fra fordampningskilden. Efter kildeoverfladen slipper og kollideres sjældent og hindres af andre molekyler eller atomer og kan direkte nå overfladen af underlaget, der skal udplades. På grund af den lave temperatur på underlaget kondenseres damppartiklerne i filmmaterialet på den for at danne en film.

For at forbedre vedhæftningen mellem de fordampede molekyler og underlaget kan underlaget aktiveres ved passende opvarmning eller ionrensning. Den fysiske proces med vakuumfordampningsbelægning fra materiel fordampning, transport til deponering og filmdannelse er som følger:

1. Brug forskellige metoder til at konvertere andre former for energi til varmeenergi, varme filmmaterialet til at fordampe eller sublimt, og blive gasformige partikler (atomer, molekyler eller atomgrupper) med en bestemt energi (0,1 ~ 0,3ev):

2. de gasformige partikler forlader overfladen af membranmaterialet og transporteres til overfladen af underlaget i en lige linje med en betydelig bevægelseshastighed uden kollision;

3. de gasformige partikler, der når overfladen af substratkondensen og nukleat og vokser til en solid film;

4. atomerne, der udgør filmen, omorganiseres og arrangeres eller kemisk bundet.