Diamond-lignende carbon (DLC) PVD-belægninger

Diamond-lignende-carbon (DLC) belægninger er et bestemt ekspertiseområde for Richter Precision Inc. Blandt PVD & PACVD-belægningssammensætninger og teknologi skiller DLC-belægninger sig ud som en karakteristisk kategori. Disse belægninger udviser en ønskelig kombination af en lav friktionskoefficient og høj mikrohårdhed, hvilket gør dem effektive i mange tribologiske og slidapplikationer.

DLC-belægninger dannes, når ioniseres og dekomponerede kulstof- eller carbonhydridarter lander på overfladen af ​​et substrat med energi typisk 10-300EV. DLC -film kan have enestående mekanisk (høj hårdhed), optisk (højt optisk båndgap), elektrisk (høj elektrisk resistivitet), kemisk (inert) og tribologisk (lav friktion og slid koefficient) egenskaber og kan deponeres ved lave substrattemperaturer (~ 200 ° C).

DLC -film er generelt amorfe (dvs. ikke har nogen dominerende krystallinsk gitterstruktur) og består af en blanding af SP2 (grafit) & SP3 (diamant) faser. Kontrol af film DLC -belægningsmaskine Egenskaber er stærkt afhængige af fluxegenskaberne ved den valgte afsætningsteknik (PVD-sputter eller fordampning og PA-CVD), metal- og brintindhold i filmen, SP2: SP3-forholdet, substratforspændingsspænding, iontenergi og iontæthed samt substrattemperatur. DLC-filmfriktionskoefficient mod stål varierer generelt fra 0,05-0,20, mens filmhårdhed og SP3-indhold kan tilpasses til specifikke applikationer. Metal og brint indeholdende DLC (ME-DLC eller A-C: H: ME) udviser hårdhed i området 500-2000HV med 35% SP3, metalfri DLC (C-DLC eller A-C: H) typisk 1500-4000HV og op til 75% SP3, mens tetrahedral amorfus carbon (TA-C) kan være 4000-9000HV med 80-85% sp3.

Richter Precision Inc. tilbyder en komplet række af DLC -fasesammensætninger, og derfor det bredest mulige interval af valgbare mekaniske og fysiske egenskaber. Egenskaberne ved værktøjerne og/eller applikationen bestemmer, hvilken DLC -belægningsstruktur der er bedst egnet. Se nedenstående tabel for en komplet liste over vores tilgængelige DLC -belægningssammensætning.