Almindelige vakuumlækningsdetektionsmetoder

Lækningsdetektion ved heliummassespektrometri

Denne teknologi er en uundværlig teknologi inden for detektion af vakuumlækage. Det er vidt brugt i lækagedetektion på grund af dets høje lækage -detektionseffektivitet, let drift, følsom instrumentrespons, høj præcision og ikke Kina PVD -belægningssystemer leverandører let blandet af andre gasser. Heliummassespektrometer lækagedetektor er et slags detektionsinstrument for gas tæthed baseret på massespektrometri -princip, der bruger helium som lækageindikatorgas. Det er sammensat af en ionkilde, en analysator, en opsamler, en kold katodeioniseringsmåler, et massespektrometri -kammer, et udstødningssystem og en elektrisk del. Elektroner, der udsendes fra glødetråden i massespektrometri -kammeret, svinger frem og tilbage i rummet og kolliderer med den indendørs gas og helium, der kommer ind i rummet gennem det utæt hul for at ionisere i positive ioner. Disse heliumioner kommer ind i magnetfeltet under venstre og højre hjerner i det accelererede elektriske felt og afbøjes på grund af virkningen af ​​Lorentz -kraft, danner en cirkulær buebue og ændrer det accelererede elektriske felt. Tryk muliggør ioner af forskellige masser at detekteres ved at nå den modtagende pol gennem magnetiske felter og modtagende slots. Heliuminjektionsmetode og heliumabsorptionsmetode er de to almindeligt anvendte metoder til lækagedetektion af heliummassespektrometer.