Analyse af almindelig fordampningsbelægningsteknologi- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Analyse af almindelig fordampningsbelægningsteknologi

1. Resistensfordampningsbelægning: Resistensfordampningskilden bruges til at fordampe materialer med lavt smeltepunkt, såsom guld, sølv, zinksulfid, magnesiumfluorid, kromtrioxid osv. Modstandsfordampningskilder er generelt lavet af wolfram, molybden og tantal.

2. elektronstråle Fordampningsbelægning : Når filmmaterialet er fordampet og fordampet ved elektronstråleopvarmning, kondenseres det på overfladen af underlaget for at danne en film, som er en vigtig opvarmningsmetode i vakuumfordampningsteknologi.

Der er mange typer af sådanne enheder. Med den brede anvendelse af tynd filmteknologi er ikke kun kravene til typerne af membraner forskellige, men også kravene til kvaliteten af membranerne er strengere.

Modstandsfordampning kan ikke længere imødekomme behovene ved fordampning af nogle metaller og ikke-metaller. Elektronstrålens varmekilde kan opnå en meget større energitæthed end modstandens varmekilde, og værdien kan nå 104-109W/cm2, så filmen kan opvarmes til 3000-6000c.

Dette tilvejebringer en bedre varmekilde til fordampning af ildfaste metaller og ikke-metalliske materialer såsom wolfram, molybdæn, germanium, SiO2, AI2O3 osv. Desuden, da det materiale, der skal fordampes, placeres i en vandkølet digel, er fordampning af beholdermaterialet og reaktionen mellem beholdermaterialet og det film, der kan undgås, er vigtigt for forbedring af puriteten af det puritet af det puritet af det puritet af det puritet af det puritet.

Derudover kan varme tilsættes direkte til overfladen af filmmaterialet, så den termiske effektivitet er høj, og varmeledningen og varmestrålingstabene er små.

3. BUD -opvarmningsfordampningsbelægning: En opvarmningsmetode, der ligner elektronstråleopvarmningsmetoden, er ARC -udladningsopvarmningsmetoden. Det har også egenskaberne ved at undgå forurening af resistensopvarmningsmaterialer eller digelmaterialer, og har egenskaberne ved høj opvarmningstemperatur, især velegnet til fordampning af ildfaste metaller, grafit osv. Med et højt smeltepunkt og en bestemt ledningsevne.

På samme tid er det udstyr, der bruges i denne metode, enklere end det for elektronstråleopvarmningsanordningen, så det er en relativt billig fordampningsindretning.

4. laserstrålefordampning Belægning: Metoden til at bruge høj effekttæthed pulseret laser til at fordampe materialer til dannelse af tynde film kaldes generelt laserfordampning

5. Højfrekvente induktionsopvarmningsfordampningsbelægning: Brug princippet om induktionsopvarmning til at opvarme metallet til fordampningstemperaturen.

Crucible, der indeholder filmmaterialet, placeres i midten af spiralspolen, og en højfrekvent strøm ledes gennem spolen, så metalfilmmaterialet kan generere strøm til at varme sig op, indtil det fordamper.

Funktioner ved induktionsopvarmningsfordampningskilde:

1. høj fordampningshastighed

2. Temperaturen på fordampningskilden er ensartet og stabil, og det er ikke let at fremstille aluminiumsfaldssploskefænomen

3. fordampningskilden oplades på én gang, der kræves ingen trådfodringsmekanisme, temperaturkontrollen er relativt let, og operationen er enkel

4. Kravene til renheden af membranmaterialet er lidt bredere.

Termisk fordampning vakuumbelægningsmaskine